一台光刻机多少钱

一台光刻机多少钱，下面就来给大家详细介绍

在生产芯片的过程当中，光刻机起到至关重要的作用，光刻机的工艺直接决定了芯片的性能。随着半导体工艺进入7nm以内，EUV光刻机是必不可少的关键设备，全球只有ASML公司能生产，现在NA 0.33孔径的EUV光刻机售价高达1.5亿美元，约合10亿一台，而且下一代会更贵。

现在NA 0.33孔径的EUV光刻机能够量产3nm、2nm工艺，再往后就需要NA 0.55孔径的下一代光刻机，也就是High NA EUV，制造2nm以下的工艺必需。

High NA EUV光刻机不仅是本身昂贵，使用成本也越来越高，因为功耗还会继续涨，ASML最近证实High NA EUV光刻机会额外消耗0.5WM功耗，加上目前的1.5MW功耗，下一代光刻机的总功耗将达到2MW，也就是200万瓦的水平。如果一天24小时运转，那么下代光刻机每天就要消耗4.8万度电，这个成本对芯片制造企业来说是非常高的，绝对的电老虎。

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